一、系统概述
硅太阳能电池是目前应用最广最成熟的电池，其通常是在厚度 0.35mm 的高质量硅片上制成的。硅片在加工过程中，表面会吸附各种颗粒杂质，硅片清晰的目的是要清除各类污染物。清洗的洁净程度直接影响着电池片的成晶率和可靠性。
太阳能硅片清洗机是专门用于清洗硅片上的杂质的设备， 主要运用于单晶硅片、电子零件、光学镜片等行业。
二、工艺介绍
本设备由槽体、机械手、人机界面和电控柜四部分组成。工艺动作均由机械手来实现，机械手在槽间转换，由 S7300PLC 通过 PROFIBUS-DP 总线控制，响应速度快，能达到 12Mbit/S。
硅片清洗工艺流程如下图
工艺重点在于机械手抓取提篮，转移到各工艺槽中进行腐蚀和清洗，相关工艺槽具有加热、超声、排液、温度检测、液位检测等功能。机械手选择各个工艺槽是通过伺服走位置实现的。
图 1
三、Kinco 控制方案
硅片清洗机共有 11 个槽，2 个机械手，机械手可以左右移动，实现对多个槽的控制。2 个机械手由 S7300 的 PLC 通过 DP 总线控制 KINCO ED 伺服，达到精确多轴控制。控制系统图如下
四、方案配置
五、结论
客户原本使用 SEW 伺服， 性能虽然能达到要求， 但价格昂贵， 原先生产速度，节拍：5～10min/200 片，使用 KINCO ED 伺服以后，节拍：3～7min/200 片，速度完全能达到要求，客户对其性能非常满意。
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