为了符合市场对小型化装置的殷切需求,芯片设计因而需要进行大幅地改善以提高产品质量,而其制造过程中,晶圆供货商更必须持续地为提升产能、简化流程来努力,所以多年来先进制程控制(Advanced Process Control System,APC)系统早已被运用在芯片制造过程中,藉此才能以更具竞争力的性价比优势来产出优质的产品。由于APC技术需要使用到大量的数据,因此使得精准的数据采集成为该系统成败的关键,而且在芯片制造过程中常常需要进行许多重复性的动作,故设备通常都会配置像APC的子系统──错误侦测与判断(Fault Detection and Classification,FDC)系统来进行自动检测,并进而执行设备暂停与发送警讯等控管作业。
某全球知名的芯片制造商因为原有的晶圆研磨机每秒只能提供单件样本(sample)的采样速度,导致对晶圆过度研磨而产生不少废品的问题,因此打算寻找适合的改善方案,以提高产品良率,但由于该日本进口的研磨机仍在保固期内,所以既无法更换设备也不能动到机器内部的线路,因此外接装置来量测磨头马达的AC电流成为唯一可行的解决方案,此外新方案还要能够发送出常闭接点(Normal Close,NC)的数字输出信号,以便妥善地控制磨头的运转。
研华藉由产品线中的各种I/O模块之组合提供了客户一种非侵入性的最佳解决方案,而此方案不仅提高了晶圆制造过程中数据采集的采样率,更提升了该制造设备的性能。针对客户的需求,研华提供的是ADAM-3114-T模块和ADAM-6000系列产品,透过将其安装在控制柜内量测机台信号,就能有效提高机器设备的采样率(3 samples/sec)。另外,由于原有的AC讯号过于微弱,因此研华特别为客户客制了ADAM-3114-T这款隔离AC电流输入模块,藉由将来自传感器的电流信号放大后,就能顺利将现场数据传送给负责接收模拟信号的ADAM-6017模块。
另外,Modbus / TCP数字输出模块ADAM-6050则负责将磨头马达的数据透过客户的内部网络传输给服务器,如此一来管理者就能实时监控晶圆研磨机的运转状态。而一旦机器出现任何异常时,使用者就能透过控制磨头的数字输入输出模块ADAM-6050来实时关闭设备。而针对此一应用案例,研华其实还提供了许多其他选项,以满足客户未来进行系统升级之需,譬如像是在相同的产品组合下,客户只需增添更多的通道后,就能把采样率提高至每秒20个样本的高速采样应用。
晶圆制造是相当不易且复杂的精致工艺,因此每提出一套新的制程方案都必须仔细考虑并设计出完善流程以符合每个步骤的制造和检验,也才能更快速地完成生产作业。研华各种可提供高质量保证的产品不仅满足客户制程应用上的需求,更同时协助用户提升产能、降低废品、并增加制造设备的正常运行时间。已完成大约一年的这项项目,因为有了优异的成绩表现,也让研华成为该晶圆厂未来其他项目产品使用的首选供货商。
关于研华 –研华科技创立于1983年,是全球领先、值得信赖的创新型嵌入式、自动化产品解决方案提供商,提供包括完整的系统集成、硬件、软件、以客户为中心的设计服务和全球物流支持等。研华同时也是Intel嵌入式与通讯联盟 (Embedded & Communications Alliance) Premier Member,通过与解决方案伙伴的密切合作,为各种工业应用提供完整的解决方案。研华拥有5400多名专职员工,在21个国家、71个主要城市之间形成了一个广泛的技术支持和营销网络,因此可以为全球的客户提供快速的上市服务。
(转载)