传感器

40台烤箱(芯片老化)温度专用监视记录系统

2025China.cn   2009年02月04日
一、概述:此系统是对半导体芯片加工过程中,需要对出产的芯片进行老化检验这一工艺而开发的专用系统。它全自动对40台烤箱(芯片老化,共240个温度点)的温度按年月日同时进行24小时全天采集监视记录,值班人员可随时根据烤箱的温度数据情况确认当前数据是否异常,并且可以保存确认记录,以便今后查看、打印历史记录。运用此系统,用户可以大大提高生产效率,减轻工人的工作量,同时,对公司的产品质量的提高提供了一手的原始数据。目前已经有4套系统在日月光(上海)半导体的三个车间运行,温度传感器采用K型热电偶,测温为0--250℃,温度误差±2℃。更新速度1次/秒,保存速度1次/分。

二、.技术指标:

烤箱数:40台

每个烤箱温度点:6个

总温度点:40x6=240个

热电偶类型:J、K(默认)、T、E、R、S、B、N

AD分辨率:24位

更新速度:1次/秒

采集模块:采用本公司ZP1018模块,共用40个模块

主机模块:采用本公司ZP1090模块,共用5个模块

每个主机模块带8个ZP1018模块

通信模式:HEX模式(本公司特有模式,推荐用)

通信波特率:9600bps

通讯接口:RS485接口,2线制

通信距离:1200米,加中继器可以更长距离

电压精度等级:±0.05% FSR或更高

温度精度等级:根据用户的热点偶的精度等级确定

系统工作温度:-20℃~70℃

(转载)

标签:40台 烤箱 (芯片老化) 温度 专用 监视 记录系统 我要反馈 
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